質量流量計是一種精確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償。熱式流量開關熱導式流量開關。質量流量控制器(MFC)中設置有一個氣體流量調節(jié)閥門，閥門能使通過控制器的流量從零調節(jié)到測量的滿量程，在工作的過程當中，控制器的入口和出口之間會產(chǎn)生一個氣壓降，即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1～0.3MPa，若壓差低于低值(0.1MPa)，有可能控制達不到滿量程值;若高于最高值(0.3MPa)，有可能關閉時流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時，無論用戶工作的反應室是真空還是高壓，應做到使MFC進出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi)，并且要求氣壓要相對穩(wěn)定。那么如果質量流量控制器出現(xiàn)流量偏差是一件非常嚴重的事情，因此當出現(xiàn)偏差的問題我們需及時的解決，今天跟大家淺談質量流量控制器出現(xiàn)流量偏差的解決方法；

　　一、檢查出現(xiàn)偏差方法

　　1.零點是否有漂移，首先需接通電源，質量流量控制器信號為0的情況下，則需要用萬網(wǎng)表測一下輸出信號值以及看一下電源控制器的反饋信號；

　　2.氣體是否純凈，如果盤路有污染，那么流量就肯定會收到影響，這個時候可以用高純N2多次清掃，如果還是不能解決則需要找專業(yè)維修中心接受A/S；

　　3.質量流量控制器前端壓力是否發(fā)到標定壓力，如果質量流量控制器的壓力不夠就會出現(xiàn)達不到標定量程。